机译:基于微机械热电堆的高热通量传感器
机译:高度敏感的P + Si / Al热电堆的气流传感器通过使用前面散装微机械技术
机译:带有斩波器接口电路的集成式微机械热电堆传感器,用于无触点温度测量
机译:新型的高分子金属微加工热电堆
机译:智能微孔板:将光电二极管集成在微机械加工的硅锥体空腔内,用于检测化学发光反应和无源RFID类型读数的方法。
机译:用于扫频OCT成像的微机械相移阵列型Mirau干涉仪:设计微加工和实验验证
机译:1.3 - 高探测器加工加工散热IRFPA芯片通过表面微机械制备