PZT thin film; MEMS; RF switch; SOI; RIE; DRIE; BOE; micromachining; cantilever;
机译:使用沉积在SOI晶片上的溶胶-凝胶衍生的PZT厚膜获得的扁平压电悬臂的制造和性能
机译:使用$ hbox {C} _ {4} hbox {F} _ {8} $等离子聚合物在双面晶圆加工过程中进行精确的面到本体特征对准和特征尺寸保留,以制造静电致动悬臂装置
机译:用于流体系统的微型PZT悬臂阵列执行器的设计与制造
机译:用于RF微型开关的绝缘体晶圆上的PZT致动悬臂的制造
机译:使用钛酸锆钛酸铅(PZT)薄膜致动器的RF MEMS系列开关的设计,制造,测试和评估
机译:用于传感和驱动的PZT厚膜的制备与表征
机译:在用于RF微开关的绝缘体上硅晶片上制造pZT致动悬臂