flatness; interferometry; Fizeau interferometer; uncertainty;
机译:使用具有相移能力的Fizeau干涉仪评估绝对平坦度的测量不确定度的评估
机译:用波长调谐的Fizeau干涉仪同时测量光平的表面形状和厚度,抑制漂移误差
机译:使用不带标准件的Fizeau干涉仪在两个平面上沿圆周测量轮廓
机译:Fizeau干涉仪使用的参考平面的稳定性及其对测量不确定性的贡献
机译:大孔径激光菲索干涉仪的测量和分析优化。
机译:同时测量相对湿度和温度的双聚合物光纤菲索干涉仪
机译:利用具有相移能力的斐索干涉仪测量绝对平直度测量不确定度的评估
机译:斐索干涉仪试验台