一种相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定装置及方法

摘要

本发明提供一种相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定装置及方法，用于测量相移干涉仪大口径参考平面特定区域内参考误差，包括：大口径相移干涉仪、参考平面镜、轴向位移台、倾斜调整台、升降装置、电动旋转台、平面平晶、计算机系统和隔振基座。大口径相移干涉仪以及具有升降、轴向平移功能的测量平台安装在隔振基座上，计算机系统与大口径相移干涉仪相连，收集n次等旋转角度以及平移后的平面平晶干涉图样分离出参考平面对应子孔径区域面形误差信息；通过调整平移台获得参考平面下一子孔径面形信息，最后由拼接数据处理软件，获得参考平面特定区域面形误差。本发明为相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定提供了一种有效的低成本检测手段。