Lasergestutztes chemisches Mikroschneiden von metallischen Folien

摘要

Beim laserinduzierten jet-chemischen Atzen in der flussigen Phase initiiert Laserstrahlung, die koaxial durch einen flussigen Jet-Strom gefuhrt wird, auf einer Metalloberflache lokal eine thermochemische Atzreaktion, die zu einem selektiven Materialabtrag bei hoher Auflosung und Qualitat der bearbeiteten Oberflache fuhrt. Der Jet-Strom fuhrt dabei zu einer Verbesserung der Prozessgeschwindigkeit als auch der Qualitat infolge eines effektiven Massentransports und Kuhlung des Werkstucks durch eine direkte Einspritzung des Atzmittels in den laserbestrahlten Bereich. Ein Anwendungsbeispiel im Bereich der Mikrome-chanik ist unter anderem die Herstellung von superelastischen Mikrogreifern, die durch Schneiden von temperaturempfindlichen Formgedachtnislegierungen erzeugt wurden. Der erreichte Schnittwinkel liegt bei 3 Grad und die mittlere Oberflachenrauheit unter 0,4 μm fur bearbeitete 200 μm dicke Folien.