机译:在移动掩模深X射线光刻(M〜2DXL)中推导最佳掩模和运动模式的算法
机译:移动掩模深X射线光刻的X射线光刻验证与开发仿真系统
机译:使用40kV形电子束光刻技术的用于深X射线光刻的高精度掩模制造
机译:使用移动掩模深Z射线光刻制备三维微结构(M {SUP} 2DXL)
机译:衍射光学近场激光光刻技术,用于制造3维周期性纳米结构。
机译:基于掩模的一步法光刻技术用于制造3D悬浮结构
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
机译:用于深X射线光刻的掩模的热管理