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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
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1.
Ciliary motion actuator using self-oscillating gel
机译:
睫状运动执行器使用自振凝胶
作者:
Osamu Tabata
;
Hiroshi Hirasawa
;
Shintaro Aoki
;
Ryo Yoshida
;
Etsuo Kokufuta
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
2.
Improved micro-flow regulator for drug delivery systems
机译:
用于药物递送系统的改进的微流量调节器
作者:
P. Cousseau
;
R. Hirschi
;
B. Frehner
;
S. Gamper
;
D. Maillefer
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
3.
256-Pixel CMOS-integrated thermoelectric infrared sensor array
机译:
256像素CMOS集成的热电红外传感器阵列
作者:
A. Schaufelbuehl
;
U. Munch
;
C. Menolfi
;
O. Brand
;
O. Paul
;
Q. Haung
;
H. Baltes
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
4.
Water-powered, osmotic microactuator
机译:
水供电的渗透微致动器
作者:
Yu-Chuan Su
;
Liwei Lin
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
5.
High density electrical feedthrough fabricated by deep reactive ion etching of pyrex glass
机译:
通过Pyrex玻璃的深反应离子蚀刻制造的高密度电馈电
作者:
Xinghua Li
;
Takashi Abe
;
Yongxun Liu
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
6.
A precision technology for controlling protein adsorption and cell adhesion in biomems
机译:
一种用于控制生物美蛋白质吸附和细胞粘附的精密技术
作者:
Y. Vickie Pan
;
Yael Hanein
;
Deborah Leach-Scampavia
;
Karl. F. Bohringer
;
Buddy D. Ratner
;
Denice D. Denton
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
7.
High throughput optical near-field aperture array for data storage
机译:
高吞吐量光学近场孔径阵列,用于数据存储
作者:
Phan Ngoc Minh
;
Takahito Ono
;
Shuji Tanaka
;
Kenya Goto
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
8.
Light-driven MEMS made by high-speed two-photon microstereolithography
机译:
通过高速双光子微管状光刻制造的光驱动MEMS
作者:
Shoji Maruo
;
Koji Ikuta
;
Korogi Hayato
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
9.
Reliability and contact resistance of polysilicon beam leads for use in a high-density connector
机译:
多晶硅梁引线的可靠性和接触电阻用于高密度连接器
作者:
Stefan Nikles
;
Khalil Najafi
;
Robert Bradley
;
Sanford Bledsoe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
10.
Improvement of Si/SiO{sub}2 mask etching selectivity in the new d-rie process
机译:
新D-RIE过程中SI / SIO {SUB} 2掩模蚀刻选择性的改进
作者:
Junji Ohara
;
Kazuhiko Kano
;
Yukihiro Takeuchi
;
Yoshinori Otsuka
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
11.
Precise control of small displacements of a stacked piezoelectric actuator by means of layer-by-Layer driving
机译:
通过层逐层驾驶精确控制堆叠压电致动器的小位移
作者:
Satoru Kondo
;
Shin-ichi Yoshimura
;
Nobuo Saito
;
Kenkichi Tanioka
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
12.
A passive wireless integrated humidity sensor
机译:
无源无线集成湿度传感器
作者:
Timothy J. Harpster
;
Brian Stark
;
Khalil Najafi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
13.
A gyroscope array with linked-beam structure
机译:
带连接梁结构的陀螺仪阵列
作者:
Seokyu Kim
;
Byeungleul Lee
;
Joonyeop Lee
;
Kukjin Chun
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
14.
Flexible parylene actuator for micro adaptive flow control
机译:
用于微自适应流量控制的柔性聚酰甲烯执行器
作者:
T. N. Pornsin-Sirirak
;
Y. C. Tai
;
H. Nassef
;
C. M. Ho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
15.
Ageing behavior of polysilicon heaters for CMOS microstructures operated at temperatures to 1200 k
机译:
CMOS微结构的多晶硅加热器的老化行为在温度下操作至1200 k
作者:
M. Ehmann
;
P. Ruther
;
M. Von Arx
;
H. Baltes
;
O. Paul
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
16.
MEMS with thin-film aerogel
机译:
带薄膜气凝胶的MEMS
作者:
Shih-Kang Fan
;
Chang-JinCJKim
;
Jong-Ah Paik
;
Bruce Dunn
;
Pamela R. Patterson
;
Ming C. Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
17.
Realization and actuation of continuous membrane by an array of 3D Self-assembling micro-mirrors for adaptive optics
机译:
一种自适应光学三维自组装微镜阵列实现和致动连续膜
作者:
Emmanuel Quevy
;
Lionel Buchaillot
;
Dominique Collard
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
18.
169 kelvin cryogenic microcooler employing a condenser evaporator, flow restriction and counterflow heat exchangers
机译:
169克尔文冷冻机微型冷却器采用冷凝器蒸发器,流量限制和逆流换热器
作者:
Johannes Burger
;
Harry Holland
;
ErwinWin Berenschot
;
Jan-Henry Seppenwodde
;
Marcel Ter Brake
;
Han Gardeniers
;
Miko Elwenspoek
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
19.
Design of multiple reaction systems for genetic analysis
机译:
遗传分析多重反应系统的设计
作者:
Madhavi Krishnan
;
Sundaresh Brahmasandra
;
David T. Burke
;
Carlos H. Mastrangelo
;
Mark A. Burns
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
20.
A high-performance silicon micropump for disposable drug delivery systems
机译:
用于一次性药物输送系统的高性能硅片微泵
作者:
Didier Maillefer
;
Stephan Gamper
;
Beatrice Frehner
;
Patrick Balmer
;
Harald Van Lintel
;
Philippe Renaud
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
21.
Micromachining techniques for liquid crystal polymer
机译:
液晶聚合物的微机械线技术
作者:
Xuefeng Wang
;
Liang-Hsuan Lu
;
Chang Liu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
22.
Fluidics the ling between micro and nano sciences and technologies
机译:
流化微型和纳米科技之间的菱
作者:
Chin-Ming Ho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
23.
New thin film epitaxial polysilicon encapsulation for piezoresistive accelerometers
机译:
压阻式加速度计的新薄膜外延多晶硅封装
作者:
Aaron Partridge
;
Amy E. Rice
;
Thomas W. Kenny
;
Markus Lutz
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
24.
High-density 3D packaging technology for CCD micro-camera system module
机译:
用于CCD微相机系统模块的高密度3D包装技术
作者:
Hiroshi Yamada
;
Takashi Togasaki
;
Masanobu
;
Kimura
;
Haijime Sudo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
25.
Arrays of addressable high-speed optical microshutters
机译:
可寻址的高速光学微型旋光器阵列
作者:
Gregoire Perregaux
;
Stephan Gonseth
;
Patrick Debergh
;
Jean-Philippe Thiebaud
;
Henri Vuilliomenet
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
26.
Latching micro magnetic relays with multistrip permalloy cantilevers
机译:
用MultiStrip Permoloy悬臂锁定微磁力继电器
作者:
M. Ruan
;
J. Shen
;
C. B. Wheeler
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
27.
An attitude control of a micro-flight mechanism with rotational wings
机译:
具有旋转翼的微飞行机理的姿态控制
作者:
Norihisa Miki
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
28.
Magnetoelastic microsensors for environmental monitoring
机译:
环境监测磁力弹性微传感器
作者:
Craig
;
A. Grimes
;
Mahaveer K. Jain
;
R. S. Singh
;
Qingyun Cai
;
Andrew Mason
;
Kenichi Tatahata
;
Yogesh Gianchandani
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
29.
Ultra-precision micro structuring by means of mechanical machining
机译:
超精密微型结构通过机械加工
作者:
Tomohiko Kawai
;
Kiyoshi Sawada
;
Yoshimi Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
30.
A micromachined resonant magnetic field sensor
机译:
微机械谐振磁场传感器
作者:
Thierry C. Leichle
;
Martin von Arx
;
Mark G. Allen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
31.
An ultra-sensitive, high-vacuum absolute capacitive pressure sensor
机译:
超灵敏,高真空绝对电容式压力传感器
作者:
Yafan Zhang
;
Sonbol Massoud-Ansari
;
Guangqing Meng
;
Woojin Kim
;
Nader Najari
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
32.
A CMOS-MEMS lateral-axis gyroscope
机译:
CMOS-MEMS横向轴陀螺仪
作者:
Huikai Xie
;
Gary K. Fedder
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
33.
AFM bending testing of nanometric single crystal silicon wire at intermediate temperatures for MEMS
机译:
在MEMS中间温度下纳米单晶硅丝弯曲的AFM弯曲测试
作者:
Yoshitada Isono
;
Takahiro Namazu
;
Takeshi Tanaka
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
34.
Fabrication of piezoelectric acoustic transducers built on cantilever-like diaphragm
机译:
压电声换能器的制造在悬臂式隔膜上构建的压电声换能器
作者:
Cheol-Hyun Han
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
35.
Fabrication of SiCN MEMS structures using microforged molds
机译:
使用微孔模具制造SICN MEMS结构
作者:
Yiping Liu
;
Li-Anne Liew
;
Ruiling Luo
;
Linan An
;
Victor M. Bright
;
Martin L. Dunn
;
John W. Daily
;
Rishi Raj
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
36.
Fabrication of array of single-crystal Si multi probe cantilevers with several microns size for parallel operation of atomic force microscope
机译:
用几微米尺寸的单晶Si多探针悬臂仪的制造,以进行原子力显微镜的并联操作
作者:
D. Saya
;
K. Fudushima
;
H. Toshiyoshi
;
G. Hashiguchi
;
H. Fujita
;
H. Kawakatsu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
37.
Fabrication and characterization of a pzt actuated micromirror with two-axis rotational motion for free space optics
机译:
具有双轴旋转运动的PZT致动微镜的制造与表征自由空间光学
作者:
Youngjoo Yee
;
Jong U Bu
;
Manhyo Ha
;
Junghoon
;
Choi
;
Hyunho Oh
;
Sangshin Lee
;
Hyojin Nam
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
38.
Decoupled microgyros and the design principle daved
机译:
解耦的微晕和设计原则达到了
作者:
W. Geiger
;
W. U. Butt
;
A. Gaisser
;
J. Frech
;
M. Braxmaier
;
T. Link
;
A. Kohne
;
P. Nommensen
;
H. Sandmaier
;
W. Lang
;
H. Sandmaier
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
39.
In-chip cell-free protein synthesis from DNA by using biochemical IC chips
机译:
通过使用生物化学IC芯片,从DNA合成片内细胞蛋白质
作者:
Koji Ikuta
;
Atsushi Takahashi
;
Shoji Maruo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
40.
Thin film metallic glasses:Fabrication and property test
机译:
薄膜金属眼镜:制造和性能测试
作者:
Yongdong Liu
;
Seiichi Hata
;
Kouichi Wada
;
Akira Shimokohbe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
41.
A surface acoustic wave tactile display with friction control
机译:
具有摩擦控制的表面声波触觉显示
作者:
Masaya Takasaki
;
Takaaki Nara
;
Susumu Tachi
;
Toshiro Higuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
42.
Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep z-ray lithography(M{SUP}2DXL)
机译:
使用移动掩模深Z射线光刻制备三维微结构(M {SUP} 2DXL)
作者:
Osamu Tabata
;
Naoki Matsuzuka
;
Tadahiro Yamaji
;
Hui You
;
Jun Minakuchi
;
Kouji Yamamoto
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
43.
Barbed spike arrays for mechanical chip attachment
机译:
用于机械芯片附件的带刺的尖峰阵列
作者:
Patrick Griss
;
Peter Enoksson
;
Goran Stemme
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
44.
Micro-turbomachine driving an infrared polarization modulator for fourier transform infrared spectroscopy
机译:
用于傅里叶变换红外光谱的微型涡轮机驱动红外偏振调制器
作者:
Motoaki Hara
;
Shuji Tanaka
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
45.
Electrostatically actuated gas microvalvebased on a ta-si-n membrane
机译:
在TA-Si-N膜上静电致动气体微型瓣膜
作者:
Ph. Dubois
;
B. Guldimann
;
M.-A. Gretillat
;
N. F. de Rooij
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
46.
Chaotic mixing in electrokinetically and pressure driven micro flows
机译:
混沌混合在电动和压力驱动的微流动中
作者:
Yi-Kuen Lee
;
Joanne Deval
;
Patrick Tabeling
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
47.
A high density microchannel network with integrated vales and photodiodes
机译:
具有集成阀和光电二极管的高密度微通道网络
作者:
Daniel Baechi
;
Jurg Dual
;
Rudolf Buser
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
48.
'SAMs meet MEMS':surface modification with self-assembled monolayers for the dry-demolding of photoplastic MEMS/NEMS
机译:
“SAMS符合MEMS”:用自组装单层的表面改性,用于光塑性MEMS / NEM的干脱模
作者:
B. J. Kim
;
G. M. Kim
;
M. Liebau
;
J. Huskens
;
D. N. Reinhoud
;
J. Brugger
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
49.
Optically-driven actuator using photo-induced phase-transition material
机译:
光学驱动的致动器使用光诱导的相变材料
作者:
Tsuyoshi Ikehara
;
Makoto Tanaka
;
Satoru Shimada
;
Hiro Matsuda
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
50.
Performance of MEMS based micro capillary pumped loop for chip-level temperature control
机译:
基于MEMS的微毛细管泵浦环芯片级温度控制的性能
作者:
Kenneth Pettigrew
;
Jeffrey Kirshberg
;
Kirk Yerkes
;
David Trebotich
;
Dorian Liepmann
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
51.
Multi-polymer microstereolithography for hybrid OPTO-MEMS
机译:
用于杂交光学MEMS的多聚合物微溶解刻
作者:
Shoji Maruo
;
Koji Ikuta
;
Toshihide Ninagawa
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
52.
Localized plastic bonding for micro assembly, packaging and liquid encapsulation
机译:
用于微包装,包装和液体封装的局部塑料粘合
作者:
Yu-Chuan Su
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
53.
High aspect ratio micro actuation mechanism
机译:
高纵横比微型致动机构
作者:
Murat Gel
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
54.
Continuous on-chip micropumping through a microneedle
机译:
通过微针的连续片上微型微型
作者:
Jeffrey D. Zahn
;
Ajay A. Deshmukh
;
Albert P. Pisano
;
Dorian Liepmann
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
55.
Selective growth of carbon nanotubes for nano electro mechanical device
机译:
用于纳米电力机械装置的碳纳米管的选择性生长
作者:
Hidetoshi Miyashita
;
Takahito Ono
;
Phan Ngoc Minh
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
56.
Micromachined tools for nano technology twin nano-probes and nano-scale gap control by integrated microactuators
机译:
用于纳米技术双纳米探针和纳米尺度间隙控制的微机械研磨的微耦合微致扫描器
作者:
K. Kakushima
;
M. Mita
;
D. Kobayashi
;
G. Hashiguchi
;
J. Endo
;
Y. Wada
;
H. Fujita
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
57.
A static turbine flow meter with a micromachined silicon torque sensor
机译:
具有微机械硅扭矩传感器的静态涡轮流量计
作者:
Niklas Svedin
;
Erik Stemme
;
Goran Stemme
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
58.
A centrally-clamped parallel-beam bistable MEMS mechanism
机译:
一个中心夹紧的平行束双稳态MEMS机构
作者:
Jin Qiu
;
Jeffrey H. Lang
;
Alexander H. Slocum
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
59.
Optimization of slider contact face geometry for surface acoustic wave motor
机译:
表面声波电机滑块接触面几何优化
作者:
Minoru Kuribayashi Kurosawa
;
Hidenori Itoh
;
Katsuhiko Asai
;
Masaya Takasaki
;
Toshiro Higuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
60.
Thermoelectric micro power generator utilizing self-standing polysilicon-metal thermopile
机译:
热电微发电机利用自站立多晶硅 - 金属热电液
作者:
Toshiyuki Toriyama
;
Masakazu Yajima
;
Susumu Sugiyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
61.
A sub-micron capacitive gap process for multiple-metal-electrode lateral micromechanical resonators
机译:
多金属电极横向微机械谐振器的子微米电容间隙工艺
作者:
Wan-Thai Hsu
;
John R. Clark
;
Clark T. C. Nguyen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
62.
In-line pressure monitoring for microfluidic devices using a deformable deffraction grating
机译:
使用可变形衍射光栅的微流体装置的在线压力监测
作者:
Kazuo Hosokawa
;
Ryutaro Maeda
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
63.
A new wafer-level membrane transfer technique for MEMS deformable mirrors
机译:
用于MEMS可变形镜的新晶片级膜转印技术
作者:
Eui-Hyeok (EH)Yang
;
Dean V. Wiberg
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
64.
Electrostatic transportation of water droplets on superhydrophobic surfaces
机译:
超疏水表面上水滴的静电运输
作者:
Altti Torkkeli
;
Jaakko Saarilahti
;
Ari Haara
;
Harri Harma
;
Tero Soukka
;
Pertti Tolonen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
65.
A micro ER valve fabricated by micromachining
机译:
通过微机械加工制造的微ER阀
作者:
Kazuhiro Yoshida
;
Masaaki Kikuchi
;
Jung-Ho Park
;
Shinichi Yokota
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
66.
Vacuum packaging technology using localized aluminum/silicon-to-glass bonding
机译:
真空包装技术采用局部铝制/硅 - 玻璃粘合
作者:
Y. T. Cheng
;
W. T. Hsu
;
L. Lin
;
C. T. Nguyen
;
K. Najafi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
67.
Multi-source power supply system using micro-photovoltaic devices combined with microwave antenna
机译:
使用微光电器件的多源电源系统与微波天线相结合
作者:
Takahisa Sakakibara
;
Hiroaki Izu
;
Takayuki Shibata
;
Seiichiro Takahashi
;
Hisaki Tarui
;
Hitoshi Hirano
;
Kenichi Shibata
;
Seiichi Kiyama
;
Nobuaki Kawahara
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
68.
Micromachined faraday cup array using deep reactive ion etching
机译:
使用深反应离子蚀刻的微机械训练法拉第杯阵列
作者:
Robert B. Darling
;
Adi A. Scheidemann
;
K. N. Bhart
;
Tai-Chang Chen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
69.
Cantilever-based bio-chemical sensor integrated in a microliquid handling system
机译:
基于悬臂的生物化学传感器集成在微覆内处理系统中
作者:
J. Thaysen
;
R. Marie
;
A. Boisen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
70.
3D micromixers-downscaling large scale industrial static mixers
机译:
3D Micromixers-Downscaling大型工业静态搅拌机
作者:
Arnaud Bertsch
;
Stephan Heimgartner
;
Peter Cousseau
;
Philippe Renaud
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
71.
Optimisation of a two-wire thermal sensor for flow and sound measurements
机译:
用于流量和声音测量的双线热传感器的优化
作者:
J. W. van Honschoten
;
G. J. M. Krijnen
;
V. B. Svetovoy
;
H. -E. de Bree
;
M. C. Elwenspoek
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
72.
A new monolithic micro biosensor for blood analysis
机译:
用于血液分析的新型单片微生物传感器
作者:
Joon-Ho Kim
;
Byoung-Gyun Kim
;
Euisik Yoon
;
Chul-Hi Han
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
73.
A micropump driven by continuous electrowetting actuation for low voltage and low power operations
机译:
用于低电压和低功耗操作的连续电润湿驱动驱动的微型泵
作者:
Kwang-Seok Yun
;
Il-Joo Cho
;
Jong-Uk Bu
;
Geun-Ho Kim
;
Young-Sam Jeon
;
Chang-Jinn Kim
;
Euisik Yoon
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
74.
Micro capillaries array head for direct drawing of fine patterns
机译:
微毛细管阵列头,用于直接绘制精细图案
作者:
Ryoichi Ohigashi
;
Katsunori Tsuchiya
;
Yoshio Mita
;
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
75.
Overview and development trends in the field of MEMS packaging
机译:
MEMS包装领域的概述和发展趋势
作者:
Herbert Reichl
;
Volker Grosser
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
76.
Fabrication of micro power source (MPS) using a micro direct methanol fuel cell (μDMFC)for the medical application
机译:
使用微直接甲醇燃料电池(μDMFC)制备微型电源(MPS)进行医学应用
作者:
Woo Young Sim
;
Geun Young Kim
;
Sang Sik Yang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
77.
Fabrication of microprobe array with sub-100nm nano-heater for nanometric thermal imaging and data storage
机译:
具有亚100nm纳米加热器的微探针阵列的制造,用于纳米热成像和数据存储
作者:
Dong-Weon Lee
;
Takahito Ono
;
Takashi Abe
;
Masayoshi Esashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
78.
Batch mode micro-EDM for density and high-throughput micromachining
机译:
批量模式微EDM用于密度和高吞吐微机密
作者:
Kenichi Takahata
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
79.
Low-cost technology for high-density microvalve arrays using polydimethylsiloxane(PDMS)
机译:
使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的高密度微型阀阵列的低成本技术
作者:
Kazuo Hosokawa
;
Ryutaro Maeda
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
80.
Temperature coefficients of material properties for electrodeposited MEMS
机译:
电沉积MEMS的材料性能温度系数
作者:
Larry L. Chu
;
Long Que
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
81.
Modeling of capillary forces and binding sites for fluidic self-assembly
机译:
流体自组装毛细管力和结合位点的建模
作者:
Karl F. Bohringer
;
Uthara Srinivasan
;
Roger T. Howe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
82.
MEMS infrared gas spectrometer based on a porous silicon tunable filter
机译:
基于多孔硅可调滤波器的MEMS红外气光谱仪
作者:
Gerhard Lammel
;
Sandra Schweizer
;
Philippe Renaud
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
83.
Surface micromachined leakage proof parylene check valve
机译:
表面微机械泄漏去PARELENE止回阀
作者:
Jun Xie
;
Xing Yang
;
Xuau-Qi Wang
;
Yu-Chong Tai
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
84.
Progress in silicon etching by in-situ dc microplasmas
机译:
原位直流微粒硅蚀刻进展
作者:
Chester G. Wilson
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
85.
A micromachined robust humidity sensor for harsh environment applications
机译:
用于恶劣环境应用的微机械鲁棒湿度传感器
作者:
Don-Hee Lee
;
Hyung-Ki Hong
;
Chil-Keun Park
;
Geun Ho Kim
;
Young-Sam Jeon
;
Jong Uk Bu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
86.
Thrust and electrical power from solid propellant microrockets
机译:
来自固体推进剂微灶的推力和电力
作者:
William Lindsay
;
Dana Teasdale
;
Veljko Milanovic
;
Kristofer Pister
;
Carlos Fernandez-Pello
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
87.
Selective drive of electrostatic actuators using remote inductive powering
机译:
使用远程感应电源选择性驱动静电执行器
作者:
Shoji Takeuchi
;
Nobuyuki Futai
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
88.
Flexible microelectrode arrays with integrated insertion devices
机译:
具有集成插入设备的柔性微电极阵列
作者:
David P. OBrien
;
T. Richard Nichols
;
Mark G. Allen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
89.
Smart dust mote forerunners
机译:
聪明的尘埃时尚先行者
作者:
Brett Warneke
;
Bryan Atwood
;
Kristofer S. J. Pister
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
90.
Polyimide as the pedestalof batch fabricated micro-ball lens and micro-mushroom array
机译:
聚酰亚胺作为批量批量制成的微球镜片和微蘑菇阵列
作者:
Yuh-Sheng Lin
;
Cheng-Tang Pan
;
Kun-Lung Lin
;
Shih-Chou Chen
;
Jauh-Jung Yang
;
Jei-Pin Yang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
91.
The microreed, an ultra-small passive MEMS magnetic proximity sensor designed for portable applications
机译:
Microreed,一种用于便携式应用的超小型无源MEMS磁性接近传感器
作者:
F. Gueisssaz
;
D. Piguet
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
92.
A surface micromachined resonant beam pressure sensor
机译:
表面微机械谐振梁压力传感器
作者:
Patrik Melvas
;
Edvard Kalvesten
;
Goran Stemme
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
93.
A low cost uncooled infrared microbolometer focal plane array using the CMOS N-well layer
机译:
使用CMOS N-阱层的低成本未冷却红外微致频仪焦平面阵列
作者:
Deniz Sabuncuoglu Tezcan
;
Selim Eminoglu
;
Orhan Sevket Akar
;
Tayfun Akin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
94.
Addressable micro liquid handling by electric control of surface tension
机译:
可寻址的微型液体处理表面张力
作者:
Junghoon Lee
;
Hyejin Moon
;
Jesse Fowler
;
Chang-Jin Kim
;
Thomas Schoellhammer
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
95.
Dual-axes capacitive inclinometer/low-g accelerometer for automotive applications
机译:
用于汽车应用的双轴电容倾斜度计/低G加速度计
作者:
Daniel Lapadatu
;
Soheil Habibi
;
Bjorg Reppen
;
Guttorm Salomonsen
;
Terje Kvisteray
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
96.
Ultra-compact encoder using talbot interference
机译:
使用Talbot干扰的超紧凑型编码器
作者:
Jun Hane
;
Iwao Komazaki
;
Takeshi Ito
;
Yoshimi Kuroda
;
Eiji Yamamoto
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
97.
The dual diaphragm pump
机译:
双隔膜泵
作者:
Cleopatra Cabuz
;
William R. Herb
;
Eugen I. Cabuz
;
Son Thai Lu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
98.
Electrostatic batch assembly of surface MEMS using ultrasonic triboelectricity
机译:
表面MEMS的静电批量组装使用超声波摩擦电性
作者:
Ville Kaajakari
;
Amit Lal
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
99.
Highly parallel integrated microfluidic biochannel arrays
机译:
高度平行的集成微流体Biochannel阵列
作者:
Robin H. Liu
;
Haixu Chen
;
Kenneth R. Luehrsen
;
Dale Ganser
;
Don Weston
;
Jocquese Blackwell
;
Piotr Grodzinski
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
100.
Fabrication of multi-layered SiCN ceramic MEMS using photo-polymerization of precursor
机译:
使用前体光聚合的多层SiCN陶瓷MEM的制备
作者:
Li-Anne Liew
;
Ruliling Luo
;
Yiping Liu
;
Wenge Zhang
;
Linan An
;
Victor M. Bright
;
Martin L. Dunn
;
John W. Daily
;
Rishi Raj
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2001年
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