机译:多晶硅支撑和LPCVD Si sub(3)N sub(4)嵌入式掩模在表面微加工中释放微机械结构的新工艺
机译:用于微力学的表面微加工Ta-Si-N束
机译:使用镍表面微加工制造的微机械开关
机译:表面微机械化微庚烷作为微机械齿轮的驱动器
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:更正:C.-E. Athanasiou。等。使用飞秒激光制造和操作的用于研究二氧化硅多晶型微力学的整体式微拉伸测试仪。微型机械201561365–1386
机译:用于微力学的表面微加工Ta–Si–N梁
机译:表面微加工微引擎作为微机械齿轮的驱动器