光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置

摘要

光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，本发明涉及一种光学元件修复用机械装置。本发明为了解决光学元件在高能束强激光打靶过程中所产生微缺陷的生长问题。竖直件垂直安装在平板底座上，平板底座上装有X轴直线单元，X轴直线单元与Y轴直线单元通过XY直线单元连接件连接，Y轴直线单元通过两个连接件与C轴旋转单元连接，工作台装在C轴旋转单元上，夹具体装在工作台上，Z轴直线单元装在竖直件上，Z轴直线单元通过两个连接件与B轴旋转单元连接，主轴部分连接件装在B轴旋转单元上，电主轴压紧夹装在主轴第一压紧件与主轴第二压紧件之间，竖直件的主安装面上装有CCD对刀与监控装置。本发明用于光学元件表面修复中。