机译:基于横向场激励压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.05-GHz CMOS振荡器
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:65 MHz AlN轮廓模式谐振器中锚固损耗建模的分析和数值方法
机译:GHz高阶轮廓模式ALN环形谐振器
机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
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