机译:用于ArF线高透射衰减相移掩模空白应用的(TiO2)(ZrO2)(x)-(Al2O3)(1-x)复合薄膜的光学模拟,优化设计和制造
机译:使用无定形Al_2O_3-ZrO_2-SiO_2复合薄膜的ArF线高透射率衰减相移掩模坯料,用于65、45和32 nm技术节点
机译:ArF光刻中用于高透射率衰减相移掩模的(ZrO2)(x)-(Al2O3)(1-x)复合薄膜
机译:(LaNiO3)x(Ta2O5)1-x氧化物薄膜,用于衰减相移掩模坯料
机译:镧镍氧化物电极上MOCVD衍生的钙钛矿铅锆(x)钛(1-x)氧(3)和铅(scan钽)(1-x)钛(x)氧(3)薄膜的微观结构和电性能缓冲硅
机译:纳米复合材料(BaTiO3)1-x:(Sm2O3)x薄膜中垂直界面诱导的介电弛豫
机译:(TiO2)x-(Ta2O5)1-x薄膜的介电性能
机译:低维莫特材料:在超薄外延LaNiO3薄膜中传输