机译:通过使用防粘层的晶圆键合/剥离技术,基于聚合物的零级封装技术用于高频RF应用
机译:通过使用抗粘附层的晶圆键合/去键合技术的高频射频应用的基于聚合物的零级封装技术
机译:使用电镀金层的RF-MEMS器件的晶圆级密封包装
机译:使用防粘层的新型晶圆级键合/解键合技术,用于基于射频器件的基于聚合物的零级封装
机译:微加工的HARPSS器件的基于聚合物的晶圆级封装。
机译:基于改进三层阳极键合和高性能吸气剂的高Q晶圆级封装及其在微谐振压力传感器中的评估
机译:用于RF-MEMS器件的晶片水平气密包装的热压键合