Micromechanical devices; Optical fibers; Shape; Optical device fabrication; Optical attenuators; Rectangular waveguides; Optical waveguides;
机译:基于集成光学和MEMS的可变光衰减器设计过程
机译:电磁微机械致动器与垂直快门整体集成,可实现可变的光衰减
机译:基于大芯单模聚合物波导的可变光衰减器
机译:具有扩展芯波导的新型MEMS可变光衰减器
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:基于共集成MEMS执行器和光波导的器件:综述
机译:基于波导的多模干涉可变光衰减器入门研究