机译:基于集成光学和MEMS的可变光衰减器设计过程
Department of Electrical Engineering, Indian Institute of Technology Madras, Chennai 600036, India;
Department of Electrical Engineering, Indian Institute of Technology Madras, Chennai 600036, India;
attenuators; microelectromechanical devices; optical design; surface micro-machining;
机译:单片集成8CH MEMS可变光衰减器
机译:集成在常规光纤中的光控可变光纤衰减器
机译:基于垂直梳式驱动的MEMS可变光衰减器,具有自升式定子
机译:基于光学MEMS的可调可变光衰减器设计
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:基于共集成MEMS执行器和光波导的器件:综述
机译:使用闭环控制的mEms可变光学衰减器(VOa)的光功率调节器