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机译:先进的准分子激光光刻
M. Endo; K. Nakagawa; Y. Hirai; M. Sasago; K. Ogawa; T. Ishihara;
机译:使用激光氧化膜光刻技术对钛进行电化学微加工:准分子激光辐照阳极氧化物
机译:用于准分子激光烧蚀光刻的新型激光烧蚀剂。光化学性质对烧蚀的影响
机译:光刻光源的最新趋势和准分子激光器的发展
机译:精密准分子激光光刻技术,用于带有厚光刻胶的圆柱形基板。
机译:193 nm准分子激光巩膜切开术治疗晚期开角型青光眼假晶状体患者。
机译:稀有气体准分子激光器和灯的最新技术作为Giga钻头光刻的光源。
机译:湿法开发的双层抗蚀剂,用于193纳米准分子激光光刻
机译:适于作为酸产生剂的盐,适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻,EUV,乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物,以及光致抗蚀剂的制造方法
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
机译:对于用于半导体晶片光刻的准分子激光器,减小激光带宽可将激光束分为两个部分光束,以不同角度入射到末端反射器
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