ボッシュプロセスにおけるエッチング側壁の平坦化技術

摘要

MEMS技術は、光通信用デバイスや各種センサ類などの他にエネルギーや医療等、幅広い産業への応用が期待されている。このため、ミニマルファブ[1]でMEMSの基幹技術である深掘りエッチング技術を確立することが、ミニマルファブの MEMS 応用における最重要課題の一つとなっている。