应用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突破

摘要

应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突破，推出业内首款极致选择性蚀刻工具Applied Producer Selectra^TM系统，通过引入全新的材料工程能力，助力3D逻辑芯片和存储芯片的尺寸持续缩小。