インクジェット法による液体Siの直接パターン印刷に関する研究

摘要

プリンテッドエレクトロニクスは省エネルギーなモノづくりを実現する技術として研究されている。しかし溶液化が困難なシリコン(Si)は、半導体の主役でありながらその対象に含まれてこなかった。本研究は「液体 Si」と呼ぶ独自材料を用いた「プリンテッド『Si』エレクトロニクス」の実現を目指す。ここでは液体 Si のインクジェット印刷により、半導体プロセスに不可欠な Siの直接パターン印刷技術の実証と、合成が難航していたBドープのp型液体Siについて報告する。