ヘリウムプラズマ誘起タングステン巨大ナノ構造形成とアニーリング効果

摘要

金属材料へのヘリウム（He）プラズマ照射によって、金属材料の表面に繊維状のナノ構造が形成することが確認されている[1]。金属材料表面にナノ構造が形成することにより、表面積の増加[2]や光学吸収率の増大[3]が確認されており、光触媒等への産業応用が期待されている。さらに、金属材料へのHeプラズマと金属イオンの同時照射（共堆積環境）によって、ミリメートルサイズの巨大な繊維状ナノ構造が形成することが近年確認された[4]。この巨大な繊維状ナノ構造に関しても同様に産業応用が期待されているが、いまだ未解明な部分が多いため、本研究では巨大ナノ構造のアニーリング効果を調査する。