大電力パルススパッタぺニング放電により形成される窒化チタンのガス混合比依存性

摘要

窒素/アルゴン混合ガス下でチタンのHPPSぺニング放 電プラズマを生じさせ、チタン薄膜の形成を試みた。窒素 を混入すると成膜速度は低下するが、平均電力あたりの成 膜速度はあまり大きく低下しない。成膜には金属プラズマ を構成するイオンの寄与が大きいと考えられる。基板への バイアス電圧が薄膜の電気抵抗率に影響を及ぼしており、 バイアス電圧によって膜密度を制御できる可能性がある。