パルスレーザバースト変調による高周波近傍磁界分布測定

摘要

本報告では、パルスレーザバースト変調時の磁界測定におけるノイズ等の課題に対し、被測定磁界の二つの特定位相による検出値の差分を取る手法を提案し、実際の測定結果より本手法の妥当性が確®された。従って本手法を用いることで、測定対象をバースト駆動させずに測定することが可能となり、実際の集積回路等の磁界分布測定への適用が期待できる。