PLD法を用い作製した磁性膜の諸特性に及ぼすレーザエネルギー密度の影響

摘要

本研究ではDF rateによりエネルギー密度を変化させた際，硬·軟磁性膜の組成転写性や磁気特性等の諸特性へ与える影響に関して検討した。得られた知見を示す。