高速高電圧固体スイッチで動作する軸方向放電励起CO_2 レーザーの開発

摘要

気体レーザーを放電励起するためには、励起電源に数ナノ秒で動作する高速高電圧スイッチが必要となる。本研究では、IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)を用いて気体レーザー励起電源用の高速高電圧スイッチを製作した。また、製作した高速高電圧スイッチ回路を軸方向放電励起CO_2レーザーに組み込み、レーザー発振を実現させた。