軸方向放電励起方式とウォールカップル回路による KrF の放電・発光特性

摘要

我々は、小型で高ビーム品質なエキシマレーザーの開発のため、軸方向放電励起方式によるKrF レーザーの開発を行っている。本報告では，低ガス圧放電の軸方向放電励起方式と誘電体バリア放電のウォールカップル回路の組み合わせによるKrF の放電・発光特性の調査が行われた。