ナノレベル凹凸を高感度検出するためのq-plate を用いたカメラシステムA

摘要

偏光特性が空間的な分布を持つ偏光変換素子の一つにq-plate がある．本素子は光学軸の方向が空間的に分布を持つλ/2 板であり，軸対称偏光ビームを生成する光学変換素子の一つとして利用されている．本研究ではq-plate によって偏光の分布を持った照明を生成し，試料からの反射光から，特定の偏光分布を抽出検出する観察法を組み合わせることにより，試料表面の微細凹凸の高感度検出を行なった．