ゆらぎの下での高精度な絶対形状計測に向けた合成波長光コム2色干渉計の開発

摘要

高精度な光学的測定において空気屈折率補正は重要である。我々は、2波長の光学距離を用いて空気屈折率の自己補正を行う2色法に光コムを適用した高精度な距離測定法を開発し、これまでに長期的な環境変動や、急激な環境ゆらぎに対して、超高精度な補正を実現してきた。一方、絶対測定の範囲拡大のため、光コム光源を用いた合成波長干渉法の開発を行ってきた。本研究では、これらの手法を組み合わせて、空気ゆらぎ存在下での広範囲な形状計測に適用する手法を開発するため、合成波長干渉法による測定結果を用いて2色法に適用した。