酸化グラフェンを感応膜とした膜型表面応力センサ（MSS）のガス応答特性

摘要

ナノメカニカルセンサとは、感応膜と呼ばれる部位がガスを吸収（脱着）して膨張（収縮）する際に生じる変位や応力を検知することで動作する化学センサである。ナノメカニカルセンサはその動作原理から様々な材料を感応膜として用いることができ、選択性を変化させた多様なセンシングが可能である。中でも、2011 年に吉川等により開発された膜型表面応力センサ（Membrane-type Surface stress Sensor, MSS）は、小型でありながら高感度を実現した新型のナノメカニカルセンサであり（Figure 1a）、現在社会実装に向けて研究・開発が進hでいる。