レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)とコロナ放電によるシリコン酸化膜パッシベーションの評価

摘要

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)は、フェムト秒レーザーパルスを半導体に照射し、放射されるテラヘルツ(THz)波の波形を捉え、イメージ化する技術である。この時非ドープのSi表面からのTHz波の波形は表面電場の極性に、強度は表面電圧に依存する。このためLTEMは太陽電池表面の電界効果パッシベーションを直接観察する手法として有望である。前回までにコロナ放電との組み合わせで電気容量-電圧(C-V)測定に相当する情報が得られることを示した。