モノリシック高電圧駆動回路集積CMOS-MEMS電気浸透流マイクロポンプ

摘要

Micro electro mechanical systems (MEMS)技術により発展してきたマイクロ流路は、化学・バイオ分析の分野で重要な役割を担うようになっている(1)-(3)。マイクロ流路技術を用いることで、数多くのLab-on-a-chip (LOC) デバイスやmicro total analysis systems (μTAS) が研究され、小容量の検体の利用のみで、大規模な装置を要しない高速小型計測装置の実現が可能となった。