机译:具有改进灵敏度的压阻纳米机械膜型表面应力传感器的二维阵列
机译:环形槽膜的设计,制造和表征与Rood梁压阻压力传感器结合的低压测量
机译:具有阶梯式弯曲和平膜结构的表面微机械压阻式压力传感器
机译:膜平面缺陷和实尺度仪对硅压阻压力传感器敏感性的组合效应
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:具有改进灵敏度的压阻纳米机械膜型表面应力传感器的二维阵列
机译:基于微型硅膜和压阻计的鼓风压力传感器设计
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜