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压阻式压力传感器灵敏度特性分析

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摘要

对圆形膜片、正方形膜片及矩形膜片压力传感器的灵敏度进行了详细剖析.计算并列出大量数据,指出影响压力传感器灵敏度的因素及提高器件灵敏度的有效途径,给出部分实验数据与理论分析符合较好.本分析对开发设计新型高灵敏度的压力传感器有一定指导意义.

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来源
《传感技术学报》 |1996年第4期|59-65|共7页
作者
沈桂芬; 王正荣;
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作者单位

辽宁大学电子科学与工程系,沈阳,110036;

辽宁大学物理系,沈阳,110036;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
压阻效应; 灵敏度; 应力; 膜片;

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