压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法

摘要

为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法.通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压.对2种不同的模型四边固支的方形膜模型和底面固支的C型模型,进行仿真分析并将仿真结果和实际值对比.实验结果表明底面固支的C型模型比四面固支的方形模型更接近实际情况.传感器样品的实际灵敏度为0.1025 mV/kPa,与底面固支的C型模型仿真结果相对误差小于2％.