Barrierless Ru; BEOL; conduction mechanisms; dielectric scaling; reliability; TDDB;
机译:70 nm间距气隙互连结构的介电可靠性
机译:用于30 nm 1/2间距互连的高级金属化选项的完整可靠性研究
机译:在45 nm间距互连线上干蚀刻低K介电材料后去除锡硬掩模的蚀刻后残留清洗液的评估
机译:具有Ru Liner和动态Cu回流的改良ALD TaN势垒,用于36nm间距互连集成
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:铜低k互连中随时间变化的介电击穿:机理和可靠性模型
机译:ru钝化和ru掺杂ε-棕褐色表面作为铜互连的组合屏障和衬垫材料:第一个原理研究