MEMS; piezoresistive sensor; built-in self-test; electric excitation;
机译:用于热激励电阻式MEMS传感器的低成本内置自检方法
机译:内置MEMS加速度计的自检
机译:电容性MEMS器件的双模式内置自检技术
机译:MEMS压阻传感器的内置自测方法
机译:基于PLL的MEMS传感器内置自检功能。
机译:具有数字内置自检功能的MEMS加速度计的ΣΔ闭环接口
机译:用于电阻式mEms传感器的低成本,内置自测试方法
机译:跨越设计层次结构的VLsI电路中内置自测插入的方法