carrier mobility; dielectric materials; fluorine; hafnium compounds; ion implantation; passivation; plasma materials processing; surface energy; thin film transistors;
机译:<![cdata [cdata [sio
机译:具有ZrO
机译:掺氟ZrLaO栅极电介质钝化的高性能并五苯薄膜晶体管
机译:通过使用氟等离子体处理或离子注入的HFO
机译:利用膦酸酯单层处理的栅极电介质的改进的有机薄膜晶体管。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:具有HfO2栅极电介质的并五苯薄膜晶体管在NH3或N2O中退火