QCMの測定分解能向上のための新手法

摘要

QCMの発振器出力波形をADコンバータで直接サンプリングし，得られたデータに対してディジタル演算処理で位相を算出し，位相の時間微分から得られる瞬時周波数の変化から質量の変化に換算するフルディジタル位相検出型QCM (Fully Digital Phase Detection QCM: FDPD-QCM)を提案したほか，測定系を作製しその特性について検討を行つた.結果，従来型QCMの周波数分解能を6桁以上，時間分解能を16倍に向上した.今後は温度変化を与えた場合のキャンセル量，ガスセンサへの応用について検討する.