金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたMEMSカンチレバーのたわみ調整法

摘要

マイクロカンチレバー等のMEMSデバイスでは，可動構造の初期たわみの調整を必要とする場合が多く，例えば筆者らの研究室で開発してきたデュアル構造のAFMカンチレバーでは，積層した薄膜の応力の差やカンチレバー構造の差によって，大きな先端のたわみの差が生じる。薄膜の残留応力を調整するためにこれまでに様々な方法が考察されており，反対の応力を持つ膜を組み合わせることによつて全体の応力を削減する手法が一般的であるが，薄膜の形成によつて最終的なたわみが決まつてしまう。成膜後に熱処理して，その温度や時間によって膜応力を調節してたわみを制御する方法も提案されており，polySi膜を高温で熱処理する手法や，金属ガラス膜を用いて熱処理する手法が報告されている。