ペースト印刷法による低接触抵抗Ni基合金電極の開発

摘要

高性能熱電モジュールの実用化には、熱電変換材料に対して低い接触抵抗率を有する電極形成が不可欠である。現在我々は、電極形成プロセスに、優れた生産性と様々な材料が使用可能といった特徴を持つ、金属ペースト印刷法を採用している。先行研究において、一体焼結法によりMg_2Si上に形成したNi電極は、内部抵抗と比較して十分に低い接触抵抗率（1.0×10~(-9)Ω?m~2未満）を得た。しかし、簡便な印刷法により形成したNi電極では、1.0×10~(-9)Ω?m~2未満の接触抵抗率を有する接合を得られなかった。本研究では、接触抵抗率の低減を狙い、Ni基合金電極に着目し、材料組成と電気的特性との相関を調べた。