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摘要

金属の着色方法の一つに酸化膜形成による光の薄膜干渉を利用した酸化発色加工があり、酸化膜厚で色を制御する。大面積酸化膜形成による発色加工を検討するため、大気圧プラズマ照射による加工を検討している。従来の研究で、大気圧プラズマ照射によって銅表面に様々な発色が確認され、その発色に酸化膜厚が関係していることが明らかとなっている。しかし、大気圧プラズマの照射時間に対して形成される酸化膜厚の再現性が悪いことが課題となっており、その原因を明らかにする必要がある。スパッタリング成膜の分野では、酸化膜の成長に水由来のラジカルが影響することが知られている。このため大気圧プラズマ照射による銅表面の酸化膜形成に水分が影響していると考え、水分量と酸化膜厚の関係を調べた。