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【24h】

二種類の基板上に堆積したCrN単層膜およびCr/CrN多層膜の残留応力評価

机译:两种类型衬底上沉积的CrN单层膜和Cr / CrN多层膜的残余应力评估。

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摘要

機械設計にぉいて内部応力は予期せぬ破壊や変形 を生じさせる原因の一つである.薄膜に内部応力が 形成されると,基板からのはく離や割れなどの損傷 が生じ,製品に大きな被害をもたらすことになる. したがって,薄膜の内部応力を正確に評価すること が重要となる.
机译:内应力是机械设计中意外断裂和变形的原因之一,当在薄膜中形成内应力时,会发生从基材剥离,开裂等损伤,对产品造成极大的损害,因此,重要的是准确评估薄膜的内部应力。

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