ステンレス鋼基板上に成膜したDLC/CrN多層膜の密着性評価

摘要

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は低摩擦・高耐摩耗性rnや高耐食性,ガスバリヤ性といった特徴をもっており，そのrn特徴を生かした用途展開が広がりつつある。しかし，実用化rnにおいてはDLCの持つ高い圧縮応力により密着性の確保がrn容易ではなく,その適用は面圧の低い部位や超硬,高速度工rn具鋼といった硬質基材に限られていた。