プラズマ窒化法によりオーステナイト系ステンレス鋼表面に形成したS相のX線残留応力およびS相上に成膜したDLC膜の残留応力測定

摘要

本研究では，直流プラズマ窒化法（DCPN：Direct Current Plasma Nitriding）およびアクティブスクリーンプラズマ窒化法（ASPN：Active Screen Plasma Nitriding）を用いてオーステナイト系ステンレス鋼（SUS304）上にS相を形成した．また，プラズマCVD法を用いてS相上にDLC膜を成膜した．（公社）日本材料学会X線応力測定標準に準拠してS相のX線的弾性定数およびX線応力定数Kを測定し，S相に存在するX線残留応力値を求めた．さらに，S相上に成膜したDLC膜に存在する残留応力を顕微ラマン分光法により非破壊で評価するために，DLC膜においてグラファイト構造に帰属されるG（Graphite）ピークのラマンシフトからDLC膜中に存在する残留応力値を推定した．