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Which is the best thin film piezoelectric material?

机译：哪种薄膜压电材料最好？

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The properties of piezoelectric thin films are reviewed for the case of the transverse piezoelectric effect using parallel plate electrodes.

机译：对于使用平行板电极的横向压电效应，对压电薄膜的性能进行了综述。

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来源
《IEEE International Ultrasonics Symposium 》|2017年|1-3|共3页
会议地点
作者
Paul Muralt;
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会议组织
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正文语种
中图分类
关键词
Stress; Sensors; Substrates; Aluminum nitride; Micromechanical devices; III-V semiconductor materials; Strain;

机译：应力;传感器;基板;氮化铝;微机械器件; III-V族半导体材料;应变;

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