Hysteresis; Laser modes; Piezoelectric actuators; Mathematical model; Instruments; Linearity; Software;
机译:基于激光干涉测量的低成本压电位移估计技术在AFM扫描仪中进行激光干涉测量的应用
机译:准静态空间有源光学应用的开环控制可同时补偿单个压电执行器中的磁滞和蠕变
机译:用Preisach模型和递归方法对压电执行器的滞后模型滞后模型方法,递归方法在开环位置跟踪控制中
机译:具有开环控制方法的压电激光扫描仪的滞后补偿
机译:纳米定位控制的鲁棒滞后补偿
机译:压电执行器的磁滞补偿和带有扰动估计的滑模控制
机译:开环控制压电执行器蠕变补偿的一种特定方法