Silicon; Ellipsometry; Thickness measurement; Image resolution; Transistors; Semiconductor device measurement; Surface topography;
机译:温度梯度对各向异性蚀刻硅晶片表面形貌变化的影响
机译:使用牺牲阳极氧化法对键合硅片进行纳米减薄并通过X射线反射率进行研究
机译:微观结构,厚度变化和裂纹对太阳能硅晶片固有频率的影响
机译:通过差分反射显微镜研究的FD-SOI晶片的硅厚度变化
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:微观结构厚度变化和裂纹对太阳能硅晶片固有频率的影响
机译:具有超低厚度变化的300毫米硅晶片的制造和计量