directed self-assembly; block copolymer; PS-b-PMMA; line and space;
机译:定向自组装光刻技术的设计技术协同优化评估:定向自组装设计还是设计定向自组装?
机译:使用CO / H_2等离子体对定向自组装光刻孔缩工艺进行干法显影
机译:定向自组装光刻技术在半导体器件制造工艺中的应用
机译:使用有向线外延(COOL)工艺的定向自组装光刻技术对亚15 nm线和空间图案进行RIE挑战
机译:先进光刻的嵌段共聚物定向自组装的计算研究。
机译:分子识别和自组装特征:DNA定向胶体结晶中的组装和组织过程
机译:基于自洽场理论的仿真方法对定向自组装光刻的过程评估