新型プラズマプロセス用小型酸素負イオンビーム源の開発Ⅲ

摘要

酸素負イオンの効果を実験的に検証するための酸素負イ オンビーム源の開発をすすめている。酸素負イオンビーム の引き出しを行う際に電極間で生じる絶縁破壊限界は電極間距離を7 mmから2 mmへと縮めたが、これでは50~100V程度の改善しか見られない。その結果を受けて、引き出し 電極とアインツェルレンズの間に新たに亀極を追加する構 造とすることで、酸素負イオンビームの引き出しと集束の 実現を目指している。