マイクロスケールのアンカー効果によるポリマーMEMS材料の接合強度への影響

摘要

近年，樹脂と金属の複合化のための接合技術が開発され，高い接合強度が得られるようになつている。この技術では金属表面にナノメートル単位の穴をあけ，穴から金属内部に榭脂を侵入させることで金属と樹脂を一体化することで高い接合力を発揮する。この作用をアンカー効果（機械的結合•投錨効果•ファスナー効果）という。