積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス

摘要

本報告では、触覚センサ等の小型デバィスに応用するためのマイクロカンチレバーについて作製方法を中心に述べた。マイクロカンチレバーの材料として、MEMS分野で一般的に用いられるSiのみならず、Ti等の新たな材料を用いることで、その機械的特性を生かした、例えば、より耐久性や生体適合性の高いデバイスの開発が可能であると考える。