Annealing; Electromagnetic heating; Microwave devices; Microwave oscillators; Resistance; Silicon; Microwave Annealing; ion implantation; ultra-shallow junction;
机译:350℃微波退火超浅结n-MOS激活锗中磷掺杂的研究
机译:用于超浅结和P-MOS器件的超低温微波退火
机译:微波退火在超浅结Ge预非晶化注入结构中的硼活化和再结晶
机译:用250°C微波退火的超浅结20nm p-mos的研究硅掺杂剂的激活
机译:硅/二氧化硅界面处的掺杂物堆积及其对结浅结的影响。
机译:通过低温微波退火通过掺杂剂隔离技术调整肖特基势垒高度
机译:350°C微波退火的超浅结合N-MOS的研究锗磷掺杂剂活化